Mô tả
Loại | SURFCOM CREST | ||
Dải đo | Trục Z (Dọc) | cánh tay 13 mm/50 mm, cánh tay 26 mm/100 mm | |
Trục X (Ngang) | 200 mm | ||
Độ chính xác | Độ chính xác trục Z (Dọc) | ±(0.2 + {H}/1000) μm (H: chiều cao đo được bằng mm) | |
Độ phân giải | cánh tay 0.31 nm/50 mm | ||
Độ chính xác trục X (Ngang) | ±(0.2 + L/1000) μm (L: chiều dài đo được bằng mm) | ||
Độ phân giải | 0.54 nm | ||
Độ chính xác độ thẳng | 0.05+3 L/10000 μm (L: chiều dài đo được bằng mm) | ||
Độ chính xác của hệ thống | Độ ồn hệ thống | Ra ≤ 2 nm/0.4 mm Rz ≤ 10 nm/0.4 mm | |
Lỗi biểu mẫu | Pt ≤ 0.1 μm (ϕ 30 mm hoặc nhỏ hơn) | ||
Sai số tối đa cho phép | Đo bán kính | ≤± 1.0 μm (ϕ30 mm hoặc nhỏ hơn) | |
Đo khoảng cách | ≤±(1 + L/150) μm, (L: chiều dài đo được bằng mm) | ||
Đo góc | ≤±0.5 phút (-45 – +45 độ) | ||
Phương pháp cảm biến | Trục Z (Dọc) | Giao thoa kế laser loại đường dẫn quang có độ ổn định cao | |
Trục X (Ngang) | Thang đo nhiễu xạ quang học | ||
Tốc độ truyền động | Tốc độ lên/xuống của trục (Trục Z) | Tới 200 mm/s | |
Tốc độ đo của đơn vị truyền động (Trục X) | 0.03 đến 3 mm/s (trong quá trình đo độ nhám), 0.03 đến 20 mm/s (trong quá trình đo biên dạng) | ||
Tốc độ di chuyển của đơn vị truyền động (Trục X) | 0.02 đến 60 mm/s | ||
Độ nghiêng đơn vị truyền động | ±45° (kiểu T) | ||
Bộ phận cảm biến | Đầu đo | Có thể thay thế | |
Lực đo | 0.75 mN | ||
Bán kính đầu đo | 2 μmR phụ kiện tiêu chuẩn (cánh tay 50 mm) | ||
Chất liệu đầu đo | Kim cương | ||
Chức năng | Chức năng thu lại | ||
Kích thước và trọng lượng | Nguồn cấp | AC một pha 100 V đến 240 V ± 10%, 50 Hz/60 Hz | |
Nguồn cấp không khí | Áp suất cung cấp: 0.45 đến 0.7 MPa; áp suất làm việc: 0.4 MPa; khối lượng tiêu thụ không khí tối đa: 8 L/phút | ||
Kích thước cài đặt (D x R x C) | 1405 mm x 1050 mm x 1851 mm | ||
Trọng lượng | 700 kg | ||
