Mô tả
Trang chủ / Thiết bị đo cơ khí chính xác / Máy đo độ nhám - biên dạng / Thiết bị đo kết cấu bề mặt SURFCOM 130A
Liên hệ
| Loại | SURFCOM 130A | |
| Dải đo | Trục Z (dọc) | 800 μm (Dải đo/độ phân giải: 800 μm/0.012 μm, 80 μm/0.001 μm, 8 μm/0.001 μm) |
| Trục X (ngang) | 50 mm | |
| Độ chính xác độ thẳng | 0.3 μm/50 mm | |
| Phân tích | Tiêu chuẩn | Tuân theo JIS2001, JIS1994, JIS1982, ISO1997, ISO1984, DIN1990, ASME1995, CNOMO |
| Tham số | Ra, Rq, Ry, Rc, Rz, Rc, Rz, Rmax, Rt, Rz.J, R3z, Sm, S, R△a, R△q, R⋋a, R⋋q, TILT A, IR, PC, RSK, Rku, Rk, Rpk, Rvk, Mr1, Mr2, VO, K, tp, Rmr, Rmr2, Rσc, AVH, Hmax, Hmin, AREA, NCRX, R, Rx, AR, NR, CPM, SR, SAR | |
| Đánh giá đường cong | Đường cong cấu hình mặt cắt, đường cong nhám, đường cong bề mặt có lọc, đường cong bề mặt tâm đã lọc, đường cong bề mặt hình tròn lăn, đường cong bề mặt bao, đường cong bề mặt tâm đường tròn lăn, đường cong đặc biệt DIN4776, đường cong mô típ nhám, đường cong bề mặt mô típ | |
| Biểu đồ đặc điểm bề mặt | Đường cong vùng chịu lực, đường cong phổ công suất, đồ thị phân bố biên độ | |
| Chỉnh sửa độ nghiêng | Hiệu chỉnh tuyến tính, hiệu chỉnh bề mặt tròn, hiệu chỉnh nửa đầu, hiệu chỉnh nửa sau, hiệu chỉnh cả hai phần cuối, hiệu chỉnh đường cong spline (tuyến tính, bề mặt tròn và có thể hiệu chỉnh cả hai phần cuối trong phạm vi tùy ý) | |
| Độ phóng đại | Chiều dọc (Trục Z) | 50, 100, 200, 500, 1 k, 2 k, 5 k, 10 k, 20 k, 50 k, 100 k, tự động |
| Chiều ngang (Trục X) | 1, 2, 5, 10, 20, 50, 100, 200, 500, 1 k, 2 k, 5 k, tự động | |
| Kiểu bộ lọc | Bộ lọc 2RC tiêu chuẩn, bộ lọc 2RC bù pha, bộ lọc bù pha Gaussian | |
| Tốc độ đo | 0.3, 0.6, 1.5, 3 mm/s (4 tốc độ) | |
| Bộ cảm biến | Bán kính mũi: 2 μm, Chất liệu: kim cương, Lực đo: 0.75 mN | |
| Chức năng đặc biệt | Chức năng AI | Chức năng AI cung cấp các phương thức dùng dễ dàng, cho phép người mới thực hiện được các phép đo chất bán dẫn |
| Chức năng phân tích chênh lệch mức độ | Lý tưởng cho độ dày màng và phép đo diện tích bề mặt của phần bán dẫn | |
| Thẻ nhớ PC | Dữ liệu xuất ra dưới dạng tệp văn bản để chuyển sang máy tính cá nhân | |
| Phụ kiện tiêu chuẩn | Mẫu tham chiếu (E-MA-S24C), giấy ghi (E-CH-S21A), bút cảm ứng (E-MA-S54A), sách hướng dẫn vận hành, dụng cụ hỗ trợ | |
| Kích thước và trọng lượng | Nguồn cấp, tần số, tiêu thụ | AC một pha 100 V đến 240 V ± 10% (cần nối đất), 50 Hz / 60 Hz, 30 VA |
| Kích thước cài đặt (R x S x C) | 700 mm x 300 mm x 150 mm | |
| Trọng lượng | 8 kg | |
