Loại

SURFCOM 130A

Dải đo

Trục Z (dọc)

800 μm (Dải đo/độ phân giải: 800 μm/0.012 μm, 80 μm/0.001 μm, 8 μm/0.001 μm)

Trục X (ngang)

50 mm

Độ chính xác độ thẳng

0.3 μm/50 mm

Phân tích

Tiêu chuẩn

Tuân theo JIS2001, JIS1994, JIS1982, ISO1997, ISO1984, DIN1990, ASME1995, CNOMO

Tham số

Ra, Rq, Ry, Rc, Rz, Rc, Rz, Rmax, Rt, Rz.J, R3z, Sm, S, R△a, R△q, R⋋a, R⋋q, TILT A, IR, PC, RSK, Rku, Rk, Rpk, Rvk, Mr1, Mr2, VO, K, tp, Rmr, Rmr2, Rσc, AVH, Hmax, Hmin, AREA, NCRX, R, Rx, AR, NR, CPM, SR, SAR

Đánh giá đường cong

Đường cong cấu hình mặt cắt, đường cong nhám, đường cong bề mặt có lọc, đường cong bề mặt tâm đã lọc, đường cong bề mặt hình tròn lăn, đường cong bề mặt bao, đường cong bề mặt tâm đường tròn lăn, đường cong đặc biệt DIN4776, đường cong mô típ nhám, đường cong bề mặt mô típ

Biểu đồ đặc điểm bề mặt

Đường cong vùng chịu lực, đường cong phổ công suất, đồ thị phân bố biên độ

Chỉnh sửa độ nghiêng

Hiệu chỉnh tuyến tính, hiệu chỉnh bề mặt tròn, hiệu chỉnh nửa đầu, hiệu chỉnh nửa sau, hiệu chỉnh cả hai phần cuối, hiệu chỉnh đường cong spline (tuyến tính, bề mặt tròn và có thể hiệu chỉnh cả hai phần cuối trong phạm vi tùy ý)

Độ phóng đại

Chiều dọc (Trục Z)

50, 100, 200, 500, 1 k, 2 k, 5 k, 10 k, 20 k, 50 k, 100 k, tự động

Chiều ngang (Trục X)

1, 2, 5, 10, 20, 50, 100, 200, 500, 1 k, 2 k, 5 k, tự động

Kiểu bộ lọc

Bộ lọc 2RC tiêu chuẩn, bộ lọc 2RC bù pha, bộ lọc bù pha Gaussian

Tốc độ đo

0.3, 0.6, 1.5, 3 mm/s (4 tốc độ)

Bộ cảm biến

Bán kính mũi: 2 μm, Chất liệu: kim cương, Lực đo: 0.75 mN

Chức năng đặc biệt

Chức năng AI

Chức năng AI cung cấp các phương thức dùng dễ dàng, cho phép người mới thực hiện được các phép đo chất bán dẫn

Chức năng phân tích chênh lệch mức độ

Lý tưởng cho độ dày màng và phép đo diện tích bề mặt của phần bán dẫn

Thẻ nhớ PC

Dữ liệu xuất ra dưới dạng tệp văn bản để chuyển sang máy tính cá nhân

Phụ kiện tiêu chuẩn

Mẫu tham chiếu (E-MA-S24C), giấy ghi (E-CH-S21A), bút cảm ứng (E-MA-S54A), sách hướng dẫn vận hành, dụng cụ hỗ trợ

Kích thước và trọng lượng

Nguồn cấp, tần số, tiêu thụ

AC một pha 100 V đến 240 V ± 10% (cần nối đất), 50 Hz / 60 Hz, 30 VA

Kích thước cài đặt (R x S x C)

700 mm x 300 mm x 150 mm

Trọng lượng

8 kg