Máy phân tích vi mô đầu dò điện tử (EPMA) là thiết bị phân tích chiếu xạ chùm electron qua một bộ khẩu độ tinh vi vào bề mặt mẫu và tách các tia X cụ thể được tạo ra để đo cường độ tín hiệu thu được. Điều này cho phép xác định thành phần của các nguyên tố ở một khu vực vi mô và phân bố nguyên tố trên bề mặt mẫu. Thiết bị quang phổ tia X tán sắc bước sóng (WDS) được sử dụng trên các EPMA có ưu điểm độ phân giải cao hơn so với máy quang phổ tia X tán sắc năng lượng (EDS). Vì lý do này, các phân tích có thể thực hiện trên máy EPMA với độ nhạy cao, độ chính xác cao hơn nhiều so với với Kính hiển vi điện tử quét (SEM-EDS).
TECOTEC GROUP





