- Chức năng thu thập thông tin màu sắc: Hệ thống quang học hình ảnh màu sử dụng nguồn sáng LED trắng và camera CMOS để lấy thông tin màu.
- Thu thập thông tin hình dạng 3D và hình ảnh đồng tiêu độ nét cao: Trong hệ thống quang học đồng tiêu điểm laser, một hình ảnh đồng tiêu thu được bằng cách sử dụng nguồn ánh sáng laser bán dẫn có bước sóng 405nm và bộ cảm quang có độ nhạy cao (bộ nhân quang). Ngoài ra, vì nó có một đặc điểm là độ sâu của tiêu cự rất nông, nó được sử dụng để đo độ không đồng đều của bề mặt mẫu.
- OLS5000 sử dụng laser bán dẫn bước sóng ngắn với bước sóng 405nm để thu được độ phân giải mặt phẳng tuyệt vời.
- Trong hệ thống quang học tiêu điểm laser, ngoài ánh sáng phản xạ và ánh sáng tán xạ từ mẫu, chỉ có ánh sáng hội tụ được nhận qua lỗ kim tròn. Kết quả là, thành phần mờ được loại bỏ và hình ảnh có độ tương phản cao hơn có thể thu được so với kính hiển vi quang học thông thường.
- OLS5000 có máy quét quang học riêng. Máy quét cộng hưởng MEMS loại cảm ứng điện từ được sử dụng cho trục X và máy quét galvano cho trục Y.
- Khi đo chiều cao, nhiều hình ảnh đồng tiêu với các vị trí lấy nét thay đổi từng bước được thu được.