Mô tả
Máy đo độ nhám Trimos 3D WLI
TR Scan (Trimor N ° 700 405 40 43)
TRIMOS
| TR Scan – Máy đo độ nhám Trimos 3D WLI
Công nghệ WLI
Bộ bao gồm:
– TR Scan với 3 trục CNC (Z / X / Y)
– WLI với vật kính 10x hoặc 20x hoặc 50x
– CL1 hoặc CL2 (1 bút quang học)
– 2 Màn hình TFT 19″
– Màn hình Dell hệ điều hành Windó 7 64 bit Ultimate
– Phần mềm Trimos Measurement and Trimos Analysis STT
Ứng dụng:
Đối với độ nhám trong 3D và vi ảnh cho tất cả các bộ phận
Thông số kỹ thuật cho CCMP1
Phép đo giao thoa ánh sáng trắng là một trong những kỹ thuật đo quang học đã được chứng minh để ghi lại địa hình 3-D với độ phân giải sâu trong phạm vi nanomet thấp hơn. Các điểm đo được thu nhận và xử lý song song, thông tin độ cao có thể được thu thập trên một khu vực rộng lớn trong thời gian rất ngắn.
Các ứng dụng điển hình trong nghiên cứu và quản lý chất lượng là xác định đặc tính của các bề mặt có các giá trị độ nhám khác nhau (cấu trúc wafer, gương, thủy tinh, kim loại), xác định độ cao của bậc thang và đo chính xác các bề mặt cong, chẳng hạn như ống kính siêu nhỏ. Dòng sản phẩm WLI cung cấp các giải pháp sáng tạo sử dụng nguyên tắc đo lường này.
Việc kiểm soát và phân tích toàn bộ quá trình đo được thực hiện bằng phần mềm Trimos Nanoware đã được chứng minh. Các thuật toán phân tích hiệu quả, mạnh mẽ và có độ chính xác cao là kết quả của quá trình nghiên cứu và kinh nghiệm sâu rộng trong lĩnh vực này.
| ĐẦU DÒ QUANG HỌC | WLI 2.5x | WLI 5x | WLI 10x | WLI 20x | WLI 50x | WLI 100x |
|---|---|---|---|---|---|---|
| Độ phân giải trong Z | 0.1 nm | 0.1 nm | 0.1 nm | 0.1 nm | 0.1 nm | 0.1 nm |
| Độ phân giải bên (X/Y) | 4.81 µm | 2.77 µm | 1.2 µm | 0.9 µm | 0.66 µm | 0.52 µm |
| Phạm vi dải dọc | 400 µm | 400 µm | 400 µm | 400 µm | 400 µm | 400 µm |
| Phạm vi diện tích đo X/Y | ~ 4536 µm x ~ 3447 µm | ~ 2268 µm x ~ 1723 µm | ~ 1134 µm x ~ 861 µm | ~ 567 µm x ~ 430 µm | ~ 226 µm x ~ 172 µm | ~ 113 µm x ~ 86 µm |
| Zoom quang học | 2.5x | 5x | 10x | 20x | 50x | 100x |
| Khoảng cách làm việc | 10.3mm | ~ 9.3mm | ~ 7.4mm | 4.7mm | ~ 3.4mm | 2mm |
