Mô tả
Máy đo độ nhám quang học
Trimos 2D CCMP1
TR Scan (Trimor N ° 700 405 20 11)
TRIMOS | TR Scan – 2D CCMP1
Công nghệ CCMP
Bộ bao gồm:
– TR SCAN với 3 trục CNC (Z / X / Y)
– Hộp quang phổ đồng bộ
– CL1 hoặc CL2 (1 bút quang học)
– 1 Màn hình TFT 19″
– PC Dell với Windows 7 32 bit Ultimate
-Trimos Measurement and Trimos Analysis LT chỉ trong phần mềm 2D
Ứng dụng: Độ nhám ở 2D (biên dạng 2D cho tất cả các bộ phận) nhưng ở nhiều vị trí
Lưu ý: Không có sẵn để nâng cấp lên 3D
Thông số kỹ thuật cho CCMP1
Vật kính màu L chiếu ảnh của nguồn điểm W dọc theo một chuỗi ảnh đơn sắc liên tục nằm trên trục quang học (“mã hóa màu”). Một mẫu được đặt trong vùng mã hóa màu cho thấy bề mặt khuếch tán ánh sáng tới của chổi quét. Ánh sáng tán xạ ngược qua thấu kính có màu L theo hướng ngược lại và tới P toàn bộ lọc tất cả các bước sóng, trừ một, µM. Ánh sáng thu thập được phân tích bằng máy quang phổ S. Vị trí của mẫu liên quan trực tiếp đến bước sóng phát hiện µM.
| ĐẦU DÒ QUANG HỌC | CL1 | CL2 | CL3 | CL4 | CL5 | CL6 | |||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Dải đo | 130µm | 400µm | 1400µm | 4000µm | 12000µm | 24000µm | |||||||
| Khoảng cách làm việc | 3.3 mm | 11 mm | 12.7 | 16.4 mm | 29 mm | 19.6 mm | |||||||
| Độ phân giải | 8 nm | 22 nm | 60 nm | 130 nm | 400 nm | 780 nm | |||||||
| Độ dốc tối đa | +/-42.5° | +/-28° | +/-25° | +/-21° | +/-14° | +/-8.5° | |||||||
| Mã kính lúp | MG210 | MG140 | MG210 | MG140 | MG70 | MG140 | MG70 | MG35 | MG20 | MG35 | MG20 | MG35 | MG20 |
| Kích thước điểm tính bằng µm | 1.9 | 2.8 | 2.3 | 3.4 | 6.9 | 4 | 8 | 8 | 14 | 14 | 25.5 | 16 | 28 |
| Độ phân giải bên | 0.9 | 1.4 | 1.2 | 1.7 | 3.5 | 2 | 4 | 4 | 7 | 7 | 12.3 | 8 | 14 |
| Hiệu suất đo quang Hz | 5.8 | 13 | 5.5 | 11.5 | 46 | 14 | 56 | 30 | 76 | 40 | 100 | 19.2 | 48 |
