| Dải đo | Trục Z | 320 µm (±160 µm) |
| Trục X | 17.5 mm (0.69″) |
| Độ phân giải | Trục Z | 0.002 µm/±20 µm |
| 0.004 µm/±40 µm |
| 0.008 µm/±80 µm |
| 0.020 µm/±160 µm |
| Đo lường | Tham số đo | Ra, Rz, Rq, Rt, Rc, Rp, Rv, R3z, R3y, Rz(JIS), Ry, Rs, Rsk, Rku, Rmax, Rsm, RPc, Rk, Rpk, Rvk, Mr1, Mr2 |
| Tiêu chuẩn | ISO4287; ANSI B46.1; DIN4768; JIS B601 |
| Đồ thị | Biên dạng chính, biên dạng độ nhám, đường cong tải |
| Bộ lọc | RC, PC-RC, Gauss, D-P |
| Chiều dài mẫu | 0.25, 0.8, 2.5 mm |
| Thời gian đánh giá | Ln= frxn, n=l-5 |
| Cảm biến | Nguyên tắc đo | Điện cảm vi sai dịch chuyển |
| Đầu đo | Kim cương tự nhiên, 90°, bán kính đầu đo 5 µm |
| Lực đo | nhỏ hơn 4 mN |
| Đầu trượt | Bằng ruby, Bán kính dọc: 40 mm |
| Tốc độ đo | lr=0.25, Vt=0.135 mm/s |
| lr=0.8, Vt=0.5 mm/s |
| lr=2.5, Vt=1 mm/s |
| Phản hồi, Vt=1 mm/s |
| Độ phân giải | 0.001 µm |
| Độ chính xác | ≤±10% |
| Độ lặp lại | ≤6% |
| Màn hình | Màn hình màu cảm ứng TFT 3.5″, có đèn nền |
| Bộ nhớ | 100 bộ dữ liệu |
| Nguồn cấp | Tích hợp pin Lithium 3.7 V, Sạc pin: DC 5 V |
| Kích thước màn hình hiển thị | 160 x 64 x 53 mm |
| Kích thước phần điều khiển | 23 x 27 x 115 mm |
| Khối lượng | Khoảng 400 g |
| Môi trường làm việc | Nhiệt độ: -20°C – 40°C; Độ ẩm: nhỏ hơn 90% RH |
| Bảo quản và vận chuyển | Nhiệt độ: -40°C – 60°C; Độ ẩm: nhỏ hơn 90% RH |
| Phụ kiện tùy chọn | Thanh nối dài, Thanh nối dài chữ L, Cảm biến bề mặt cong, Cảm biến đo lỗ nhỏ, Cảm biến đo lỗ siêu nhỏ, Cảm biến đo rãnh sâu, Máy in nhỏ, Bàn MAP |
