| Đường kính màn hình chiếu | Φ300 mm |
| Phạm vi góc quay | 0°-360° |
| Độ phân giải màn hình quay | 0.001°/DMS |
| Dải đo (trục X-Y) | 150 x 150 mm |
| Độ phân giải thang đo quang | 0.001 mm/0.00005″ |
| Đo tuyến tính X-Y | (3+L/200) µm, L: chiều dài đo |
| Độ chính xác phóng đại quang | 0.08% |
| Độ lấy nét trục Z | 90 mm |
| Chiếu sáng biên dạng | 12 V, 100 W, bóng đèn halogen vonfram |
| Chiếu sáng bề mặt | 24 V, 150 W, bóng đèn halogen vonfram |
| Chế độ làm mát | 4 hệ thống quạt làm mát |
| Nguồn cấp | 110 V đến 220 V (AC), 50 đến 60 HZ |
| Môi trường vận hành | 15°C đến 25°C / 40% đến 70%RH |
| Tải trọng của bàn đo | 10 Kg |
| Khối lượng máy | 135 Kg |
| Kích thước máy | 70 x 38 x 110 cm |
| Trọn bộ giao hàng | Máy chính, bộ vi xử lý 2D, máy in, thấu kính phóng đại 10X, thấu kính phản xạ, bóng đèn dự phòng và cầu chì, hướng dẫn sử dụng, chứng chỉ hiệu chuẩn JCC ISO |
