Máy phân tích vi mô đầu dò điện tử EPMA-8050G

Hệ thống quang điện tử:
- Nguồn phát điện tử: Schottky
- Độ phân giải ảnh SEM: 3nm
- Điện áp gia tốc: 0,5kV - 30kV
- Dòng điện: 0,2nA - 3µA
- Độ phóng đại: 40× đến 400,000×
- Đầu thu BSE: 4 khối, bán dẫn
Hệ thống quang học quan sát:
- Độ phân giải: 1µm
- Trường nhìn: ~𝛷600µm/ 480µm × 360µm
- Độ sâu vật thể: 4µm
Bàn mẫu:
- Kích thước mẫu lớn nhất: 100mm × 100mm × 50mm, 2kg
Hệ thống quang phổ tia X:
- Dải nguyên tố phân tích: ₄Be～₉₂U
- Số buồng trang bị: 2-5 buồng
- Góc phản xạ tia X: 52.5°
- Bán kính vòng Rowland: 4inch (101,6mm)
Hệ thống chân không:
- Mức độ chân không buồng phân tích: 1,0×10^-3Pa max
- Mức độ chân không trong buồng súng ion: 3,5×10^-7Pa max
Chế độ phân tích của phần mềm: Phân tích định tính, phân tích bản đồ, phân tích định lượng, phân tích đường chuẩn, phân tích trạng thái, phân tích đường phổ.
- Chức năng phân tích tự động: tự động lên trình tự phân tích, chế độ phân tích đơn giản.