- Các loại đầu dò thu phóng: 

• Kiểu 1: 
• Độ phóng đại quang học: 0.5 - 7.5x
• Khoảng làm việc: 50 mm
• Kiểu 2: 
• Độ phóng đại quang học: 1 - 15x
• Khoảng làm việc: 50 mm
• Kiểu 3: 
• Độ phóng đại quang học: 2- 30x
• Khoảng làm việc: 50 mm
• Kiểu 4: 
• Độ phóng đại quang học: 4- 60x
• Khoảng làm việc: 30 mm
• Kiểu TZ: 
• Độ phóng đại quang học: 1- 120x
• Khoảng làm việc: Độ phóng đại cao: 11 mm; Độ phóng đại thấp: 32 mm
• Kiểu A: 
• Độ phóng đại quang học: 0.35- 3.5x
• Khoảng làm việc: 73.5 mm (63 mm với  lấy nét tự động laser)

- Thông số kỹ thuật: 

• Hành trình XYZ: 450 x 400 x 200 mm
• Loại TZ với thấu kính phóng đại thấp: 400 x 400 x 200 mm
• Độ phân giải: 0.01 μm
• Trọng lượng tối đa của mẫu: 40 kg (Độ chính xác được đảm bảo: 20 kg)
• Sai số tối đa cho phép (L: Chiều dài tính bằng mm):
• EUX,MPE EUY,MPE: 1.2 + 4L/1000 μm
• EUXY,MPE: 2.0 + 4L/1000 μm
• EUZ,MPE: 1.2 +L/1000 μm
• Sai số dò: MPE PF2D 0.8 μm
• Sai số dò của đầu dò hình ảnh: MPE PFV2D 0.3 μm
• Camera: Đen trắng/màu 1/3 CMOS
• Lấy nét tự động: Lấy nét tự động bằng tia laser (tùy chọn cho kiểu A)/lấy nét tự động bằng hình ảnh
• Dải lặp lại lấy nét tự động bằng laser: 2σ ≤ 0.5 μm
• Chiếu sáng: 
• Kiểu 1, 2, 3 và 4: Nguồn sáng phản xạ, truyền qua và vòng 8 đoạn với 3 góc * Tất cả là đèn LED trắng/Kiểu 4 chỉ có 1 góc
• Kiểu TZ: 
• vật kính bên trái: nguồn sáng phản xạ, trường tối; 
• vật kính bên phải: nguồn sáng phản xạ, truyền qua, trường tối
• Kiểu A: Nguồn sáng phản xạ, truyền qua và vòng 8 đoạn với 1 góc * Tất cả là đèn LED trắng
• Nguồn điện/tiêu thụ điện năng: AC 100 V-240 V, 50/60 Hz / 4 A-2 A
• Kích thước và trọng lượng: 
• Thân chính có bàn (R x S x C): 1000 x 1340 x 1818 mm/khoảng 510 kg
• Bộ điều khiển: 190 x 450 x 450 mm/khoảng 12 kg
• Kích thước chân (R x S): 3000 x 3000 mm