Chức năng và khả năng mở rộng để đáp ứng nhiều yêu cầu:
- Chế độ tiếp xúc
- Chế độ động
- Chế độ pha
- Chế độ lực bên (LFM)
- Chế độ điều chế lực
- Chế độ dòng điện
- Chế độ thế năng bề mặt (KFM)
- Chế độ lực từ (MFM)
- Đường cong lực
- Bản đồ Nano 3D
- Quét Vector
Có thể ứng dụng để quan sát cho nhiều lĩnh vực như:
- Các sinh vật sống
- Kim loại
- Phi kim loại
- Khoáng sản
- Gốm sứ
- Polime
- Mẫu Bột
- Công nghệ nano
- Phim mỏng
- Chất bán dẫn
- Lớp phủ
Shimadzu cung cấp cho người dùng trang dữ liệu SPM trực tuyến thường xuyên cập nhật về dữ liệu quan sát mới, các ứng dụng, danh sách các bài báo khoa học và danh sách thuyết trình phong phú thuận lợi cho quá trình ứng dụng thiết bị trong thực tiễn.

Chế độ quan sát tiêu chuẩn: Tiếp xúc, Động, Pha, Lực bên (LFM), Mô đun lực.
Chế độ quan sát mở rộng: Lực từ (MFM), Dòng điện, Thế năng bề mặt (KFM)
Độ phân giải: theo trục x,y: 0,2nm, trục z: 0,01nm.
Nguyên tắc phát hiện: Nguồn sáng / Đòn quang / Đầu dò
Bộ quét:
- Hành trình quét lớn nhất (x, y, z): 10μm × 10μm × 1μm (tiêu chuẩn).
Bàn mẫu:
- Kích thước mẫu tối đa: 𝛷24mm × 8mm.
- Phương pháp giữ mẫu: từ trường
Kính hiển vi quang học quan sát: Theo cơ chế trượt tách chùm tia
Bộ điều khiển:
- Bộ điều khiển quét trục x,y độ chính xác 16bit
- Bộ điều khiển quét trục z độ chính xác 26bit
- Phương pháp điều khiển: điều khiển số bằng DSP
Phần mềm:
Chức năng online:
- Kích thước quét: từ 0,1nm
- Số pixel của ảnh: 2048 × 2048, 1024 × 1024, 512 × 512,
256 × 256, 128 × 128, 64 × 64, 32 × 32
- Hiển thị trắc đồ mặt ngang
- Hiển thị trạng thái/ thông số
- Chức năng hiệu chuẩn: trục x,y và z
- Hiển thị kích thước quét, di chuyển vị trí, thay đổi kích thước quét, thay đổi góc. Tải và hiển thị dữ liệu hình ảnh.
Chức năng ofline:
- Chức năng tìm kiếm dữ liệu
- Chức năng hiển thị ảnh
- Chức năng xử lý dữ liệu hình ảnh
- Chức năng phân tích dữ liệu hình ảnh
- Chức năng xuất file
- Nguồn điện: 100-240VAC, 15A
- Kích thước đầu dò SPM: D180 × R255 × C260 mm, 5,5kg
- Kích thước bộ điều khiển: D250 × R420 × C454 mm, 18,5kg