Thẻ sản phẩm

Chế độ quan sát tiêu chuẩn: Tiếp xúc, Động, Pha, Lực bên (LFM), Mô đun lực.
Chế độ quan sát mở rộng: Lực từ (MFM), Dòng điện, Thế năng bề mặt (KFM)
Độ phân giải: theo trục x,y: 0,2nm, trục z: 0,01nm.
Nguyên tắc phát hiện: Nguồn sáng / Đòn quang / Đầu dò
Bộ quét:
- Hành trình quét lớn nhất (x, y, z): 10μm × 10μm × 1μm (tiêu chuẩn).
Bàn mẫu:
- Kích thước mẫu tối đa: 𝛷24mm × 8mm.
- Phương pháp giữ mẫu: từ trường
Kính hiển vi quang học quan sát: Theo cơ chế trượt tách chùm tia
Bộ điều khiển:
- Bộ điều khiển quét trục x,y độ chính xác 16bit
- Bộ điều khiển quét trục z độ chính xác 26bit
- Phương pháp điều khiển: điều khiển số bằng DSP
Phần mềm:
Chức năng online:
- Kích thước quét: từ 0,1nm
- Số pixel của ảnh: 2048 × 2048, 1024 × 1024, 512 × 512,
256 × 256, 128 × 128, 64 × 64, 32 × 32
- Hiển thị trắc đồ mặt ngang
- Hiển thị trạng thái/ thông số
- Chức năng hiệu chuẩn: trục x,y và z
- Hiển thị kích thước quét, di chuyển vị trí, thay đổi kích thước quét, thay đổi góc. Tải và hiển thị dữ liệu hình ảnh.
Chức năng ofline:
- Chức năng tìm kiếm dữ liệu
- Chức năng hiển thị ảnh
- Chức năng xử lý dữ liệu hình ảnh
- Chức năng phân tích dữ liệu hình ảnh
- Chức năng xuất file
- Nguồn điện: 100-240VAC, 15A
- Kích thước đầu dò SPM: D180 × R255 × C260 mm, 5,5kg
- Kích thước bộ điều khiển: D250 × R420 × C454 mm, 18,5kg