Đặc tính của HR-SPM:
- Sử dụng phương pháp FM-AFM
- Nhiễu khi đo trong không khí và chất lỏng giảm xuống còn 1/20 so với các phương pháp hiện có.
- Đạt được mức hiệu suất của SPM loại chân không, ngay cả trong môi trường không khí và chất lỏng.
- Việc cài đặt máy quét thông lượng cao đã mở rộng khu vực quan sát và tăng tốc độ.
- Màn hình kép cung cấp thông tin linh hoạt hơn
- Quan sát các thành phần trong dung dịch với độ phân giải cấp nguyên tử
- Có thể quan sát hạt xúc tác Pt kích thước chỉ vài nm trên tấm nền TiO2 trong không khí
- Thiết bị này không chỉ có khả năng  quan sát với độ phân giải siêu cao trong không khí hoặc chất lỏng, mà còn là thiết bị đầu tiên cho phép quan sát các lớp hydrat hóa/sovat hóa tại các vùng giao thoa rắn-lỏng.

Đầu SPM:
- Độ phân giải theo trục: x, y: 0,2nm, z: 0,01nm
- Nguyên tắc phát hiện: Nguồn sáng / Đòn quang / Đầu dò
Bộ quét:
- Thành phần lái: ống áp-điện
- Kích thước quét tối đa: 10µm × 10µm × 1µm (X, Y, Z)
Bàn mẫu:
- Kích thước mẫu tối đa: 𝛷38mm × 8mm
- Hành trình đầu dò SPM: 10mm × 10mm
- Hành trình trục z: 10mm
Kính hiển vi quang học: sử dụng cảm biến CCD kích thước 1/3 inch 1024 × 768 pixels
- Hành trình thấu kính: 65mm, độ phân giải 4X
Hệ thống giảm chấn tích hợp sẵn.
Bộ điều khiển:
- Điều khiển trục x,y,z: -211 đến +211V, 16 bit
- Điện áp vào khối tương tự: -10 đến +10V
- Độ phân giải khối tương tự: 16 bit
- Tần số lấy mẫu: 200kHz
- Tín hiệu vào: 8 kênh
Phần mềm:
Chức năng online:
- Cửa sổ quan sát: Tối đa 8 ảnh hiển thị đồng thời, hình dạng mặt cắt có thể hiển thị trong quá trình quét
- Chế độ quét: có thể chọn xy, zx và zxy
- Thông số quan sát có thể được chỉ định
Chức năng offline:
- Tóm tắt hình ảnh có thể được hiển thị dưới dạng hình thu nhỏ
- Chức năng hiển thị / phân tích dữ liệu hình ảnh
Điện áp: 1 pha 100VAC, 50/60Hz, 15VA
Kích thước đầu SPM: D200 × R220 × C370mm, 10kg
Kích thước bộ điều khiển: D600 × R600 × C1.300mm, 130kg