Thẻ sản phẩm

Đầu SPM:
- Độ phân giải theo trục: x, y: 0,2nm, z: 0,01nm
- Nguyên tắc phát hiện: Nguồn sáng / Đòn quang / Đầu dò
Bộ quét:
- Thành phần lái: ống áp-điện
- Kích thước quét tối đa: 10µm × 10µm × 1µm (X, Y, Z)
Bàn mẫu:
- Kích thước mẫu tối đa: 𝛷38mm × 8mm
- Hành trình đầu dò SPM: 10mm × 10mm
- Hành trình trục z: 10mm
Kính hiển vi quang học: sử dụng cảm biến CCD kích thước 1/3 inch 1024 × 768 pixels
- Hành trình thấu kính: 65mm, độ phân giải 4X
Hệ thống giảm chấn tích hợp sẵn.
Bộ điều khiển:
- Điều khiển trục x,y,z: -211 đến +211V, 16 bit
- Điện áp vào khối tương tự: -10 đến +10V
- Độ phân giải khối tương tự: 16 bit
- Tần số lấy mẫu: 200kHz
- Tín hiệu vào: 8 kênh
Phần mềm:
Chức năng online:
- Cửa sổ quan sát: Tối đa 8 ảnh hiển thị đồng thời, hình dạng mặt cắt có thể hiển thị trong quá trình quét
- Chế độ quét: có thể chọn xy, zx và zxy
- Thông số quan sát có thể được chỉ định
Chức năng offline:
- Tóm tắt hình ảnh có thể được hiển thị dưới dạng hình thu nhỏ
- Chức năng hiển thị / phân tích dữ liệu hình ảnh
Điện áp: 1 pha 100VAC, 50/60Hz, 15VA
Kích thước đầu SPM: D200 × R220 × C370mm, 10kg
Kích thước bộ điều khiển: D600 × R600 × C1.300mm, 130kg