Thông số kỹ thuật

• Độ xoay chính xác (hướng tâm): (0.02+6H/10000)µm (RA-1600)
• Độ xoay chính xác (quanh trục): (0.02+6X/10000)µm (RA-1600)
• Độ xoay chính xác (hướng tâm): (0.03+6H/10000)µm (RA-1600M)
• Độ xoay chính xác (quanh trục): (0.03+6X/10000)µm (RA-1600M)

• Tốc độ quay:

  4, 6, 10rpm
• Đường kính bàn quay:

  ø5.9"(150mm)
• Phạm vi định tâm:

  ±3mm (với chức năng DAT)
• Phạm vi san bằng:

  ±1° (với chức năng DAT)
• Đường kính lấy mẫu tối đa: ø11"(ø280mm)
• Đường kính phôi tối đa: ø22"(ø560mm)
• Tải tối đa của bàn xoay: 55lbs (25kg)

• Hành trình dọc:

  11.8" (300mm)
•  
• Độ thẳng (trong phạm vi hẹp): 0,20µm / 100mm (RA-1600)
• Độ thẳng (trong toàn bộ dải): 0,30µm / 300mm (RA-1600)
• Độ thẳng (trong phạm vi hẹp): 0,40µm / 100mm (RA-1600M)
• Độ thẳng (trong toàn bộ dải): 0,80µm / 100mm (RA-1600M)
• Độ song song với trục bàn xoay: 1.5µm / 300mm
• Tốc độ định vị:

  Max. 15mm/s
• Tốc độ đo:

  0.5, 1, 2, 5mm/s
• Chiều cao lấy mẫu tối đa (ID/OD): 11.8"(300mm)*1
• Độ sâu lấy mẫu tối đa: 91mm (lớn hơn ø32)
• 3.6"(lớn hơn ø1.26")((91mm (lớn hơn ø32))
• 1.97"(lớn hơn ø0.27")((50mm (lớn hơn ø7)

• Hành trình ngang:

  6.5"(165mm) (Từ trục bàn xoay -1~±5.5"
  ((-25mm – ±140mm))
• Tốc độ định vị:

  Max. 15mm/s
• Tốc độ đo:

  0.5, 1, 2, 5mm/s
• Tốc độ đo:

  0.5, 1, 2, 5mm/s
• Độ thẳng trục X: 2.7µm/140mm (RA-1600)
• Độ song song trục X với trục bàn xoay:
• 1.6µm/140mm (RA-1600)

• Dải đo

  ±400µm / ±40µm / ±4µm
• Lực đo

  10–50mN (5 lmức chuyển đổi)
• Đầu đo tiêu chuẩn:

  2AAL021, đầu bi cacbua, ø1.6mm
• Hướng đo: Hai hướng
• Điều chỉnh góc đầu đo: ±45° (với vạch chia)

• Áp lực khí:

  0.39MPa (4kgf/cm2)
• Mức tiêu thụ khí:

  22L/min.

• Nguồn cấp

  100V AC – 240V AC, 50/60Hz
• Kích thước (W x D x H): 35 x 19.3 x 33"(890 x 490 x 840mm)
• Khối lượng:

  375lbs (170kg)

ROUNDPAK

Giá đỡ thiết bị dò trượt (Tùy chọn) 12AAL090

Khoảng cách trượt: 4,4 "(112mm)