Thẻ sản phẩm

Hệ thống quang điện tử:
- Nguồn phát: W/ CEB₆
- Độ phân giải ảnh SEM: 6nm/5nm
- Điện áp: 0,1 - 30kV
- Dòng điện: 1pA - 1μA
- Bộ thu điện tử tán xạ ngược: 4 khối, dạng bán dẫn
Hệ thống quang học quan sát:
- Độ phân giải: 1μm
- Trường nhìn: 𝛷600µm/ 480µm × 360µm
Bàn mẫu:
- Kích thước mẫu tối đa: 100mm × 100mm × 50mm, 2kg
Hệ thống quang phổ tia X:
- Dải phân tích: ₄Be - ₉₂U
- Số buồng có thể trang bị: 2-5 kênh
- Góc phản xạ tia X tới đầu thu: 52.5°
- Vòng Rowland có bán kính: 4 inch (101,6 mm)
Hệ thống chân không
- Áp suất buồng mẫu: thấp hơn 1,0 × 10^-3Pa
- Áp suất súng ion: thấp hơn 2,0 × 10^-5 Pa.