Thẻ sản phẩm

+ Hệ thống chân không:
- Thang máy mẫu (3 vị trí lưu trữ trục lăn)
- Bơm phân tử (250l/giây)
- Van cổng ID 236mm
- Bơm ion với cryoshield (tùy chọn TMP 600 l/s)
+ Nguồn tia X:
- Vòng tròn Rowland 500mm
- Phân tích năng lượng điện tử:
- Máy phân tích bán cầu 180 °
- Bán kính trung bình 165mm
- Máy phân tích gương cầu
- Chế độ truyền bộ phân tích cố định (FAT)
+ Đầu dò quang điện tử:
- MCP ngăn xếp và phát hiện dòng trễ
- Chế độ quang phổ quét và chụp nhanh
- Chế độ hình ảnh 2D
+ Bộ trung hòa:
- Nguồn điện tử đồng trục thấp
+ Nguồn ion:
- Minibeam 4: monatomic Ar+, cột ion nổi
- Minibeam 6: Arn + GCIS
+ Trục lăn mẫu:
- Bề mặt phẳng đường kính 110mm tiêu chuẩn
- Trục lăn ARXPS cho vòng quay mẫu 0 - 85 °
- Xoay 360 ° liên tục về trục dọc
+ Tự động và quan sát mẫu:
- Điều khiển phần mềm 5 trục của bàn mẫu (phụ thuộc trục lăn)
- Kính hiển vi quang học trong SEC (trường nhìn 110mm)
- Kính hiển vi quang học độ phân giải cao trong SAC (trường nhìn 2 mm)