- kV tối đa: 160 kV
- Công suất chùm electron tối đa: 20 W
- Nguồn tia X: Đèn phát tia X mở
- Kích thước tiêu điểm: 1 μm
- Tính năng nhận dạng khuyết tật: 500 nm
- Độ phóng đại hình học: 2046x
- Độ phóng đại hệ thống: lên đến 36000x
- Hệ thống hình ảnh:
- Varex 2520DX (2.85 Mpixel, 16 bit) Flatpanel
- Varex 1515DX (1.3 Mpixel, 16 bit) Flatpanel
- Điều khiển: 5 trục (X, Y, Z, T, R)
- Trục quay: Bao gồm
- Độ nghiêng: 0-72°
- Thể tích đo lường:
- Hình vuông lớn nhất trong một bản đồ 406 x 406 mm (16 x 16")
- Kích thước mẫu vật lý tối đa 711 x 762 mm (28 x 30")
- Trọng lượng mẫu tối đa: 5 kg (11 lbs)
- Màn hình: IPS 4k đơn ( 3840 x 2160 pixels)
- Kích thước cabin (R x S x C): 1200 x 1786 x 1916 mm (48 x 71.3 x 75.4")
- Trọng lượng: 2100 kg (4629 lbs)
- An toàn bức xạ: <1 μSv/giờ ở bề mặt cabin
- Kiểm soát: Phần mềm kiểm soát và phân tích kiểm tra tia X
- Tự động kiểm tra: Bao gồm
- Chụp cắt lớp vi tính/X quang: Tùy chọn
- Ứng dụng chính: Kiểm tra điện tử và chất bán dẫn thời gian thực và tự động, phân tích lỗi
