Máy đo độ nhám Zygo Photonics ZeGage

Liên hệ

Tính năng	ZeGage™
Độ lặp lại địa hình bề mặt	≤3.5 nm
Độ lặp lại của RMS	0.1 nm
Tốc độ quét dữ liệu tối đa	35 µm/sec
Chiếu sáng	Tích hợp đèn LED trắng tuổi thọ cao, cấp độ sáng được điều khiển bằng máy tính
Scanner	Scan trục Z dải đo rộng
Kỹ thuật đo lường	Giao thoa kế quét mạch kết hợp 3D không tiếp xúc (CSI)
Điều khiển bàn đo	USB Puck
An toàn	Tích hợp dừng chuyển động khẩn cấp
Kích thước (C x R x D)	ZeGage kết hợp Workstation: 156 x 127 x 76 cm ZeGage: 82 × 53 × 53 cm Workstation: 74 × 127 x 76 cm
Khối lượng	ZeGage: 54 kg Workstation: 37 kg
Nguồn cấp	100 đến 240 VAC, 50/60 Hz