- Các loại đầu dò thu phóng:
- Kiểu 1:
- Độ phóng đại quang học: 0.5 - 7.5x
- Khoảng làm việc: 50 mm
- Kiểu 2:
- Độ phóng đại quang học: 1 - 15x
- Khoảng làm việc: 50 mm
- Kiểu 3:
- Độ phóng đại quang học: 2- 30x
- Khoảng làm việc: 50 mm
- Kiểu 4:
- Độ phóng đại quang học: 4- 60x
- Khoảng làm việc: 30 mm
- Kiểu TZ:
- Độ phóng đại quang học: 1- 120x
- Khoảng làm việc: Độ phóng đại cao: 11 mm; Độ phóng đại thấp: 32 mm
- Kiểu A:
- Độ phóng đại quang học: 0.35- 3.5x
- Khoảng làm việc: 73.5 mm (63 mm với lấy nét tự động laser)
- Thông số kỹ thuật:
- Hành trình XYZ: 450 x 400 x 200 mm
- Loại TZ với thấu kính phóng đại thấp: 400 x 400 x 200 mm
- Độ phân giải: 0.01 μm
- Trọng lượng tối đa của mẫu: 40 kg (Độ chính xác được đảm bảo: 20 kg)
- Sai số tối đa cho phép (L: Chiều dài tính bằng mm):
- EUX,MPE EUY,MPE: 1.2 + 4L/1000 μm
- EUXY,MPE: 2.0 + 4L/1000 μm
- EUZ,MPE: 1.2 +L/1000 μm
- Sai số dò: MPE PF2D 0.8 μm
- Sai số dò của đầu dò hình ảnh: MPE PFV2D 0.3 μm
- Camera: Đen trắng/màu 1/3 CMOS
- Lấy nét tự động: Lấy nét tự động bằng tia laser (tùy chọn cho kiểu A)/lấy nét tự động bằng hình ảnh
- Dải lặp lại lấy nét tự động bằng laser: 2σ ≤ 0.5 μm
- Chiếu sáng:
- Kiểu 1, 2, 3 và 4: Nguồn sáng phản xạ, truyền qua và vòng 8 đoạn với 3 góc * Tất cả là đèn LED trắng/Kiểu 4 chỉ có 1 góc
- Kiểu TZ:
- vật kính bên trái: nguồn sáng phản xạ, trường tối;
- vật kính bên phải: nguồn sáng phản xạ, truyền qua, trường tối
- Kiểu A: Nguồn sáng phản xạ, truyền qua và vòng 8 đoạn với 1 góc * Tất cả là đèn LED trắng
- Nguồn điện/tiêu thụ điện năng: AC 100 V-240 V, 50/60 Hz / 4 A-2 A
- Kích thước và trọng lượng:
- Thân chính có bàn (R x S x C): 1000 x 1340 x 1818 mm/khoảng 510 kg
- Bộ điều khiển: 190 x 450 x 450 mm/khoảng 12 kg
- Kích thước chân (R x S): 3000 x 3000 mm
