Mô tả
Loại | SURFCOM CREST Lp | ||
Phương pháp dò tìm | Trục Z (Dọc) | Tự động lấy nét theo điểm | |
Trục X (Ngang) | Thang đo nhiễu xạ quang học | ||
Máy dò | Dải đo | 10 mm | |
Độ phân giải | 1 nm | ||
Độ chính xác chỉ báo (dọc) | ±(0.1 + 0.4H/10) μm, H: chiều cao đo được bằng mm (±0.3 μm/5 mm) | ||
Vị trí đo lường | Xuống dưới | ||
Đường kính điểm laser | 1.3 μm (vật kính x100) | ||
Đầu ra ánh sáng laser | Dưới 1 mW (Cấp 2) | ||
Khoảng cách làm việc | 10 mm (vật kính x100) | ||
Chức năng an toàn | Chức năng tự động dừng, chức năng dừng an toàn bằng tiếp điểm Phát hiện cả hai đầu của chức năng giới hạn hành trình | ||
Theo dõi trình điều khiển | Dải đo | 200 mm | |
Độ phân giải | 0.54 nm | ||
Khoảng thời gian lấy mẫu điểm đo | 0.5 đến 100 μm *0.1 μm đơn vị | ||
Chỉ số chính xác | ±(0.3 + L/1000) μm *L chiều dài đo được (±0.5 μm/200 mm) | ||
Độ chính xác độ thẳng | 0.12 + 1.5 L/1000 μm *L chiều dài đo được (±0.42 μm/200 mm) | ||
Tốc độ đo | INDEX | Phụ thuộc vào chỉ số bước răng và biên dạng làm việc | |
SCAN | 0.03 đến 0.15 mm/s | ||
Theo dõi tốc độ di chuyển của trình điều khiển | 0.02 đến 20 mm/s | ||
Trục | Bước | 360 mm | |
Tốc độ di chuyển trục | đến 50 mm/s (Tối đa 10 mm/s thời gian giảm) | ||
Khác | Nguồn cấp điện | AC một pha 100 V đến 240 V ± 10%, 50 Hz/60 Hz | |
Nguồn cấp không khí | 0.4 MPa | ||
Kích thước cài đặt (D x R x C) | 1530 mm x 1050 mm x 1851 mm | ||
Khối lượng | 680 kg | ||
