Thiết bị đo kết cấu bề mặt tích hợp biên dạng SURFCOM CREST Lp

Loại

SURFCOM CREST Lp

Phương pháp dò tìm

Trục Z (Dọc)

Tự động lấy nét theo điểm

Trục X (Ngang)

Thang đo nhiễu xạ quang học

Máy dò

Dải đo

10 mm

Độ phân giải

1 nm

Độ chính xác chỉ báo (dọc)

±(0.1 + 0.4H/10) μm, H: chiều cao đo được bằng mm (±0.3 μm/5 mm)

Vị trí đo lường

Xuống dưới

Đường kính điểm laser

1.3 μm (vật kính x100)

Đầu ra ánh sáng laser

Dưới 1 mW (Cấp 2)

Khoảng cách làm việc

10 mm (vật kính x100)

Chức năng an toàn

Chức năng tự động dừng, chức năng dừng an toàn bằng tiếp điểm

Phát hiện cả hai đầu của chức năng giới hạn hành trình

Theo dõi trình điều khiển

Dải đo

200 mm

Độ phân giải

0.54 nm

Khoảng thời gian lấy mẫu điểm đo

0.5 đến 100 μm *0.1 μm đơn vị

Chỉ số chính xác

±(0.3 + L/1000) μm *L chiều dài đo được (±0.5 μm/200 mm) 

Độ chính xác độ thẳng

0.12 + 1.5 L/1000 μm *L chiều dài đo được (±0.42 μm/200 mm)

Tốc độ đo

INDEX

Phụ thuộc vào chỉ số bước răng và biên dạng làm việc

SCAN

0.03 đến 0.15 mm/s

Theo dõi tốc độ di chuyển của trình điều khiển

0.02 đến 20 mm/s

Trục

Bước

360 mm

Tốc độ di chuyển trục

đến 50 mm/s (Tối đa 10 mm/s thời gian giảm)

Khác

Nguồn cấp điện

AC một pha 100 V đến 240 V ± 10%, 50 Hz/60 Hz

Nguồn cấp không khí

0.4 MPa

Kích thước cài đặt (D x R x C)

1530 mm x 1050 mm x 1851 mm

Khối lượng

680 kg