| Tính năng | ZeGage™ Pro |
| Độ lặp lại địa hình bề mặt | ≤3.5 nm |
| Độ lặp lại của RMS | 0.1 nm |
| Tốc độ quét dữ liệu tối đa | 10.7 µm/sec – 171 µm/sec |
| Chiếu sáng | Tích hợp đèn LED trắng tuổi thọ cao, cấp độ sáng được điều khiển bằng máy tính |
| Scanner | Scan trục Z dải đo rộng |
| Kỹ thuật đo lường | Giao thoa kế quét mạch kết hợp 3D không tiếp xúc (CSI) |
| Điều khiển bàn đo | Giá treo ZYGO |
| An toàn | Tích hợp dừng chuyển động khẩn cấp |
| Điểm dữ liệu tối đa | >1.9 triệu |
| Kích thước (C x R x D) | ZeGage PRO kết hợp Workstation: 156 x 127 x 76 cm ZeGage PRO: 82 × 53 × 53 cm Workstation: 74 × 127 x 76 cm |
| Khối lượng | ZeGage PRO: 54 kg Workstation: 37 kg |
| Nguồn cấp | 100 đến 240 VAC, 50/60 Hz |
